说明
描述
PESINn PETEOS, Loadport_Fixload 6M x3, Original LTM Assy, RPC_MKS AX7645PS-10 & AX7645-RH-01, HF_AE Apex5513, LF_AE PDX2500, Gas Config:He 20 slpm, AR 10 slpm, N2 10 slpm, N2 10000 sccm, NF3 10 slpm, O2 30000 sccm, TEOS
文件
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化学气相沉积设备
Vector Express
Verified
分类
薄膜沉积
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2004
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