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Cayman, 2Twin( All Module Localized: HF, RPS, Gas Panel_MFCs, Block, VME CTRL), FI: All OS Type_Localized, MF: VME CTRL localized, VHP Robot Arm n Blade Localized, No LCF
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无文件
化学气相沉积设备
CAYMAN
Verified
分类
薄膜沉积
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2004
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