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描述
Indy-B-L, MFC(N2, NH3, SiH2Cl2, N2O, SiH4), L/L type
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立式扩散炉
INDY-B
Verified
分类
氧化扩散
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2012
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