说明
描述
1. GFC : N2, N2O, SiH4 (MTO) 2. Controller : WAVES SVA041 3. Heater type : VMM-56-002 4. Missing : HDD
文件
无文件
扩散炉
Alpha-303i-K
Verified
分类
氧化扩散
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
2006
物流支持
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