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描述
160 KeV Configured: 200mm Upgraded in 2020 -Tool has upgraded End Station Controllers and also upgraded Direct Drive Assemblies -The computer system has been upgraded to VM computers with a V6 Cell Controller -Software version 8.0. Cryo Pumps are On-Board
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离子注入机
GSD-200
Verified
分类
离子注入
上次验证: 11 个月前
产品主要详细信息
状态:
Used
运行状况:
--
产品编号:
晶圆尺寸:
Year:
1995
物流支持
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